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製程設備與技術
塗部機 | Ultrasonic Oscillator (超音波震盪器) | Spin Coating(旋轉塗佈機) |
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UV-light (桌上型燈, 400W) | Temperature and humidity/Oven machine(恆溫/定溫烤箱) | Oxygen-Hydrogen Water Welder (2500 C氫氧焰水焊機) |
O2 Plasma (氧電漿清洗機) | glove box(手套箱) | Organic Thermal Evaporation(有機熱鍍膜機) |
E-Beam Writer (電子束微影術) | 水熱合成釜 | 水熱合成釜 |
UV燈 |
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